硅太阳能电池是指以硅为基体材料的太阳能电池，按硅材料的结晶形态，可分为单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池和非晶硅太阳能电池，具体来说，制作太阳能电池主要是以半导体材料为基础，其工作原理是利用光电材料吸收光能后发生光电转换反应，硅系列太阳能电池中，单晶硅太阳能电池转换效率最高，技术也最为成熟，高性能单晶硅电池是建立在高质量单晶硅材料和相关的成热的加工处理工艺基础上的，单晶硅的电池工艺已经接近成熟，在电池制作中，一般都采用表面织构化、发射区钝化、分区掺杂等技术，开发的电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电池，提高转化效率主要是靠单晶硅表面微结构处理和分区掺杂工艺。